磁控濺射有哪些種類?不同種類的工作原理是什么?
磁控濺射作為一種物理 氣相沉積(PVD)技術,在材料科學與工程領域有著廣泛的應用。它通過結合電場和磁場的作用,提高了濺射過程中的粒子利用率和沉積效率。磁控濺射可以根據(jù)不同的分類標準分為多種類型,每種類型都有其獨特的工作原理和適用范圍。以下是一些常見的磁控濺射種類及其工作原理概述:
公司技術支撐團隊有7篇文章選登《中國表面工程》雜志“高離化磁控技術與應用”專刊
公司技術支撐團隊有7篇文章選登《中國表面工程》雜志“高離化磁控技術與應用”??蔑@新鉑科技在高功率磁控濺射方面有較多的技術積累。
對比陰極弧與HiPIMS對AlTiN沉積膜層的研究
目前制備硬質(zhì)合金涂層主要可采用PVD方式,而PVD沉積除磁控放電外,還有陰極弧放電進行涂層PVD沉積,相比磁控,陰極弧放電結構簡單,已廣泛應用于各種涂層技術的制備,如裝飾鍍層,其工藝沉積速率快。隨著工藝的要求逐漸提高,硬質(zhì)合金涂層在硬度等方面提出了更高的要求,